机器人在智慧工厂中的应用

激光加工机器人是一种将机器人技术应用于激光加工的激光加法工业，在高精度工业机器人之后更加灵活。该系统可以通过教学设备在线操作，也可以离线编程。对加工工件进行主动检测后，生成工件模型，生成加工曲线，并利用CAD数据直接对工件进行加工。可用于工件的激光表面处理、钻孔、焊接及模具校正。

关键技能包括：

主要研究结果如下：(1)激光加工机器人的结构优化规划技巧如下：在增加操作计划的同时，选择了大型规划框架体结构，以保证机器人的精度；

(2)机器人系统的误差补偿技巧：根据集成加工机器人工作空间大、精度高的要求，结合其结构特点，选择了非模型法与模型法相结合的混合机器人补偿方法，完成了多参数误差和非多参数误差的补偿。

(3)高精度机器人检测技术：将三坐标测量技术与机器人技术相结合，完成机器人高精度在线测量。

(4)激光加工机器人的特殊语音完成技术：根据激光加工和机器人操作的特点，完成激光加工机器人的专用语音。

网络通信和离线编程技巧：具有串口、CAN等网络通信功能，完成机器人生产线的监控和处理；由上位机完成机器人离线编程控制。
真空机器人

真空机器人是一种工作在真空环境中的机器人，主要用于半导体工业，完成了硅片在真空腔中的传输。真空机械手具有进口难、装订困难、用量大、通用性强等特点，已成为半导体整机研发和整机产品竞争力的关键部分。而国外采购商严格检查我国，属于禁运产品目录，真空机械手已成为我国半导体设备设备生产中严重的卡颈问题。直接驱动真空机器人的技术来源于原有的创新技术。

关键技能包括：

主要成果如下：(1)真空机器人新的结构规划技巧：通过结构分析和优化规划，避免世界专利，规划新的结构以满足真空机器人刚度和弹性比的要求；

(2)大空位真空直接驱动电机的技术：触控大空位真空直驱电机和高清洁直驱电机开路电机的理论分析、结构规划、制造工艺、电机数据外观处理、低速高转矩控制、小多轴驱动器等。

(3)真空环境下多轴精密轴系的规划，选择轴内轴的规划方法，以减少轴与惯性不对称的不一致。

(4)动态轨道修正技术：将传感器信息与机器人运动信息融合后，检测晶片与手指之间参考方位的偏移，并动态修改移动轨道，以确保机器人从真空室的一个站准确地将晶片传送到另一个位置。

(5)符合半规范的真空机器人语音：根据真空机器人转移的要求、机器人的操作特点和半规范，完成了真空机器人语音。

可靠性系统工程技能：在集成电路生产中，设备缺陷会造成巨大损失。根据半导体设备对MCBF的高要求，对各部件的可靠性进行检查、评价和操作，对机械手的各个部件的可靠性进行测试，从而使机械手满足IC生产的高要求。